申请(专利)号：CN201720610017.8

申请日：2017.05.27

授权公告号：CN207199584U

授权公告日：2018.04.06

主分类号：H01L21/673(2006.01)I

分类号：H01L21/673(2006.01)I; H01L31/18(2006.01)I; C23C16/54(2006.01)I;

摘要：本实用新型公开了一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构。包括石墨舟片若干、用于固定硅片的多个卡点、相邻石墨舟片对应位置处的卡点之间套半镂空陶瓷环。该饱和用管式PECVD石墨舟，能够有效保护卡槽不被沉积氮化硅，而卡点上表面饱和氮化硅，从而改善电池片镀膜均匀性和降低色差返工比例。

申请权利人：江西展宇新能源股份有限公司;

发明设计人：陈园; 史伟伟; 杨晓琴; 付少剑; 曹雪; 刘庆平; 陆祥;