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一种ITO牢固的LED芯片及其制造方法
发布时间:2018-05-28

申请(专利)号: CN201711399168.4

申请日: 2017.12.22

申请公布号: CN108075022A

公开公告日: 2018.05.25

主分类号: H01L33/38(2010.01)I

分类号: H01L33/38(2010.01)I; H01L33/00(2010.01)I;

摘要:本发明提供一种ITO牢固的LED芯片及其制造方法,包括GaAs衬底一侧依次从下往上设置缓冲层、nAIGaInP限制层、MQW多量子阱有源层、pAIGaInP限制层和pGaP窗口层;pGaP窗口层上制作ITO薄膜层,ITO薄膜层上制作金属电极层,GaAs衬底另一侧设置n电极层;金属电极层一部分连接在pGaP窗口层上,一部分连接在ITO薄膜层上。本发明公开一种ITO牢固的LED芯片及其制造方法,金属电极层同时与ITO薄膜层和粗糙化的pGaP窗口层相连接,避免焊线测试时造成ITO薄膜层脱落,提高整个金属电极层的附着性和完整性,确保发光器件工作电压稳定,提高产品可靠性,提升产品质量和良率。

申请权利人:南昌凯迅光电有限公司;

发明设计人:白继锋; 张银桥; 潘彬;