申请(专利)号： CN201820314319.5

申请日： 2018.03.07

授权公告号： CN207852630U

授权公告日： 2018.09.11

分类号： H01L21/67(2006.01)I; H01L21/677(2006.01)I;

摘要：本实用新型公开了一种便于输送的晶圆片分选机，其结构包括晶圆片分选机本体、夹料器、输送平台、支架板和连接杆，所述晶圆片分选机本体的内部两侧设有支架板，所述支架板的中间设有连接杆，所述连接杆的底部设有第一电机，所述第一电机的底部设有气缸，所述气缸的右部设有监控装置，所述气缸的底部连接有连接板，所述连接板的底部分布有夹料器，所述晶圆片分选机本体的内部左侧设有输送平台，所述转辊的右部设有光电感应装置，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有吸音棉。该便于输送的晶圆片分选机，可高效的输送晶圆片，便于稳定输送，降低了工作时产生的噪音，高效的智能的监控到晶圆片，便于精确的夹持，使得分选更加准确。

申请权利人： 江西点亮科技有限公司;

发明设计人： 张栖源;