申请(专利)号： CN201820334703.1

申请日： 2018.03.12

授权公告号： CN208093514U

授权公告日： 2018.11.13 

主分类号： H01L21/67(2006.01)I

分类号： H01L21/67(2006.01)I; H01L21/683(2006.01)I; 

摘要：本实用新型公开了一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体、吸附机构、晶圆片放置架、支撑腿、晶圆片放置槽和喷头，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有固定杆，所述固定杆的底部设有气缸，所述气缸的顶部设有电机，且所述电机位于固定杆的顶部，所述气缸的底部设有吸附机构，所述晶圆片分选机本体的内侧底部设有晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的底部两侧设有支撑板，所述晶圆片放置架的顶部设有活动板，所述水盒的内侧分布有喷头，所述晶圆片分选机本体的底部分布有支撑腿。该晶圆片高效分选的自动清洗机构，高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选。

申请权利人： 江西点亮科技有限公司; 

发明设计人： 张栖源;