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一种无收尾直拉单晶硅生产装置
发布时间:2019-09-19

申请(专利)号:CN201920015457.8

申请日:2019.01.07

授权公告号:CN209397294U

授权公告日:2019.09.17

主分类号:C30B15/14(2006.01)I

分类号:C30B15/14(2006.01)I; C30B29/06(2006.01)I;

摘要:本实用新型公开了一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座,所述底座的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱,且两个支撑柱相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆,两个连接杆通过螺栓连接有同一个炉体,所述炉体的通过螺栓连接有石英坩埚,所述炉体的顶部一侧外壁通过铰链铰接有封盖,且封盖的顶部外壁通过螺栓连接有提升壳体,封盖的顶部一侧外壁通过螺栓连接有把手,所述提升壳体的顶部内壁通过螺栓连接有步进电机。本实用新型中,设置有石墨加热器,能够对炉体内的石英坩埚进行预热,提高接下来的融化速率,设置有电磁感应加热器,能够对石英坩埚内的多晶硅原料及杂质进行快速融化,提高了工作效率。

申请权利人:江西豪安能源科技有限公司;

发明设计人:张忠安; 张忠华; 张俊; 凌继贝;